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實(shí)驗現(xiàn)場

高精度臭氧發(fā)生器提供MBE臭氧源現(xiàn)場

來源：www.zixun002.com 發(fā)布時間：2025-09-16 16:33:18 瀏覽次數(shù)：
單位名稱：某大學(xué)
實(shí)驗內(nèi)容：ALD臭氧源,MBE臭氧源
臭氧機(jī)型：M1000

高精度臭氧發(fā)生器提供MBE臭氧源現(xiàn)場

應(yīng)用背景：

某高校材料科學(xué)實(shí)驗室致力于開發(fā)高性能材料，需要在其科研級MBE設(shè)備上沉積高質(zhì)量、均勻的Al?O?柵介質(zhì)薄膜。該工藝對前驅(qū)體（TMA）與反應(yīng)氣體（臭氧）的精確配比和穩(wěn)定性要求極高，臭氧的濃度、純度及流量直接影響薄膜的致密性、生長速率和電學(xué)性能。

高精度臭氧發(fā)生器提供MBE臭氧源現(xiàn)場(1)

解決方案：

采用北京同林M1000高精度臭氧發(fā)生器。該設(shè)備以其1-110 mg/L的寬范圍、10檔精密可調(diào)功能，完美匹配工藝摸索階段對參數(shù)精細(xì)化的需求。研究人員可精準(zhǔn)重復(fù)任何特定濃度（如85 mg/L），確保了實(shí)驗數(shù)據(jù)的高度重復(fù)性與可比性。


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